アズワン 3-5065-04 C1005−20SCCM−He【1個】 3506504

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※ こちらの画像は代表画像となります。部品や類似品等の場合があります。型番と商品名をご確認下さい。　 【特徴】 熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。 ●スタート時のフローサージ現象を抑制します。 【仕様】 型番：C1005 ●フルスケール流量-ガス種：20SCCM-He ●ガス種類：He ●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15〜35℃） ●応答性：6sec ●流量制御範囲：5〜100％FS ●入出力：アナログ信号（0〜5VDC） ●バルブ形式：N/Oノーマルオープン ●再現性：±0.2％FS ●動作圧力範囲：50〜300kPa ●耐圧：1MPa（G） ●外部リークレート：1×10-7Pa・m3/sec（He）以下 ●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●接続：1/4in.SWL相当 ●電源：＋15VDC±5％　60mA、−15VDC±5％　150mA
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