アズワン 3-5065-02 C1005−20SCCM−N2【1個】 3506502
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50741円アズワン 3-5065-02 C1005−20SCCM−N2【1個】 3506502DIY、工具道具、工具3-5065-02 マスフローコントローラー 20SCCM-N2 C1005 【AXEL】 アズワン
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※ こちらの画像は代表画像となります。部品や類似品等の場合があります。型番と商品名をご確認下さい。 【特徴】 熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。 ●スタート時のフローサージ現象を抑制します。 【仕様】 型番:C1005 ●フルスケール流量-ガス種:20SCCM-N2 ●ガス種類:N2 ●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15〜35℃) ●応答性:6sec ●流量制御範囲:5〜100%FS ●入出力:アナログ信号(0〜5VDC) ●バルブ形式:N/Oノーマルオープン ●再現性:±0.2%FS ●動作圧力範囲:50〜300kPa ●耐圧:1MPa(G) ●外部リークレート:1×10-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●接続:1/4in.SWL相当 ●電源:+15VDC±5% 60mA、−15VDC±5% 150mAマスフローコントローラー 20SCCM-N2 C1005
3-5065-02 マスフローコントローラー 20SCCM-N2 C1005 【AXEL】 アズワン
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